石英ガラスの研削における砥粒摩耗の影響

江端 潔; 松田 丈; 齊藤 寛史; 横山 和志

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.533.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: G36

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.533.0

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主催: 社団法人精密工学会

石英ガラスの研削における砥粒摩耗の影響

*江端潔, 松田丈, 齊藤寛史, 横山和志

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キーワード: 砥粒摩耗, 石英ガラス, き裂

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抄録

石英ガラスの研削面に発生するき裂は後工程等に影響を与えるが，その大きさの測定は難しい．そのため，加工面品位は表面粗さのみで評価されることが多い．しかし，ダイヤモンド砥粒の摩耗とともに変化する表面粗さとき裂の関係は明らかにされていない．そこで，石英ガラスの研削における砥石作業面と表面粗さ，き裂深さの変化を調べた．

責任著者(Corresponding author)

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