ダイシングブレードの振動とチッピングの抑制に関する研究

抄録

脆性材料のダイシング加工では，切断後のエッジチッピングの抑制が要求されている。加工時のブレードの振動がチッピングに影響を与えると考えられ，その振動を抑制する必要がある．これまでの研究により，フィルムで補強されたブレードがチッピングサイズの低減に効果的であることを確認している．本研究では，様々なフィルムにより補強されたブレードの振動減衰比の評価をし，チッピングサイズとの比較を行った結果を報告する．