放電表面処理によるSi含有アモルファス層の耐はんだ侵食性に関する研究

抄録

Si電極での放電加工面は、アモルファス層の形成により耐食性、耐エロージョン性が優れている。本研究では、放電表面処理により、膜厚が10μm程度の比較的厚いSi含有アモルファス層を形成し、その特徴を調査した。その結果、本アモルファス層は高い耐食性、耐エロージョン性に加えて耐はんだ侵食性にも優れることが分かった。そこで本報では、Si含有アモルファス層の耐はんだ侵食性について説明する。