レーザ照射による炭化ケイ素表面の元素別選択的除去

抄録

炭化ケイ素にレーザを照射することで炭素またはケイ素のみを選択的に除去して表面特性を変化させる方法について調べた。雰囲気を変えてレーザを照射した結果、真空中と大気中で異なる様相を呈し、ラマン分光分析では炭素材料もしくは二酸化ケイ素に特有のピークが観測された。これより、変質の状態は酸素分圧に依存し、分圧が高い雰囲気では主に炭素が、低い雰囲気では主にケイ素が除去される傾向にあることが分かった。