ナノ・マイクロ形状モデリングのための3次元顕微計測に関する研究

3次元空間分布変調照明による顕微計測

抄録

本研究では，ナノ・マイクロ領域における形状再構築のための計測データの取得を目的としている．従来の光学顕微鏡では回折限界や焦点深度の浅さゆえ，詳細な3次元計測データを取得するのが困難であった．そこで，超解像度化・超焦点深度化するために3次元空間分布変調照明を用いることを提案する．3次元空間分布変調照明を用いた顕微計測について，光学シミュレーション，基礎実験の結果を報告する．