進行波モードを用いた液固分散用超音波振動板の設計

抄録

複合めっきにおいて、めっき浴中の微粒子の分散は重要な課題となる。筆者らは超音波振動を用いた微粒子の分散を行っているが、大面積のめっきを考えた場合、複数の超音波振動子を用いる必要があり、それぞれの振動の干渉により定在波が発生するため、節の部分で分散状態が悪化する問題があった。本研究では、ＦＥＭ解析を用いて節のない進行波モードの振動板を設計、試作し、分散状態の改善を試みた。