高速超音波スピンドルによる硬脆材料の精密・微細研削に関する研究（第1報）

ガラスの研削特性

抄録

主軸が軸方向に40kHzで超音波振動し、かつ40,000min-1程度で高速回転する空気静圧軸受支持の高速超音波スピンドルを開発した。開発スピンドルを用いて、ガラスの精密・微細研削を行い、超音波振動方向や振幅などの振動条件と研削特性との関係について調べた。