タンデム低コヒーレンス干渉を用いた微小内径の非接触測定技術の開発（第２報）

45°カットファイバによる測定の精密化と微細化

抄録

近年の微細加工技術の発達に伴い，非常に微小な内径を持つ加工物が作られるようになったが，その測定手法はまだ十分に確立しているとは言えない．本研究では，タンデム低コヒーレンス干渉を利用した光学系により，前報で500&μの内径を良い精度で測定できることを示した．本報では，45°カットファイバを特別に加工することで，50㎛までの内径測定を目的として実験を行い，さらに測定によって生じる誤差に関する解析を行った．