非点収差法を用いたマイクロタッチプローブ球精密変位検出法 プローブ球変位時のスポット形状解析と基礎実験

小河 篤生; 清水 浩貴; 田丸 雄摩

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.835.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: K37

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.835.0

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主催: 社団法人精密工学会

非点収差法を用いたマイクロタッチプローブ球精密変位検出法

プローブ球変位時のスポット形状解析と基礎実験

*小河篤生, 清水浩貴, 田丸雄摩

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キーワード: マイクロタッチプローブ, 非点収差法, 三次元座標測定機, 精密変位検出

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抄録

本研究は，CMM用タッチプローブへの応用を目指し，非点収差法を利用してマイクロプローブ球の精密変位検出を行うものである．レンズ端に光線を通し意図的に非点収差が生じやすい状態として金属プローブ球に集光させ，反射光をCCDに導き観察する．プローブ球が基準位置から変位した際のスポット形状変化から1軸変位を検出し，これを独立3軸に拡張し3次元変位を検出する．本報では，スポット形状変化の解析結果を中心に報告する．

責任著者(Corresponding author)

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