静電誘導ファイバー集積構造による曲面対応静電チャックの開発

澤井 賢司; 宝田 亘; 鞠谷 雄士; 高橋 邦夫; 齋藤 滋規

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.877.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: L07

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.877.0

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主催: 社団法人精密工学会

静電誘導ファイバー集積構造による曲面対応静電チャックの開発

*澤井賢司, 宝田亘, 鞠谷雄士, 高橋邦夫, 齋藤滋規

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キーワード: 静電チャック, 表面粗さ, 曲面, ファイバー, マニピュレーション, 静電力

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抄録

先端に静電力を発生可能かつ柔軟な静電誘導ファイバーを集積した構造により，曲面形状の物体表面に対して高い吸着力を発生可能な静電チャックの開発をおこなう．本稿では正弦波状曲面に対する吸着力と，ファイバーの径，剛性，密度といったパラメータとの関係を理論，実験の両面から定量的に検討し，本静電チャックの設計指針を示す．本装置はレンズアレイやMEMSデバイスを扱う工具として広い応用が期待される．

責任著者(Corresponding author)

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