MEMS用TiNi-SMA薄膜アクチュエータの最良設計条件の検討

西村 浩平; 槌谷 和義; 上辻 靖智

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.885.0

抄録

MEMS用アクチュエータとしてのTiNi薄膜に形状記憶処理を施す際，外力を用いた変形では，薄膜に皺や破れ等の破損が生じる可能性が考えられる．前報において，薄膜の面内残留応力が開放される際の変形を制御し，目的とする形状へ変形させる手法を提案した．しかし残留応力の方向により，薄膜の変形状態が異なることから，適切なアクチュエータ設計が必要となる．そこで統計学的な分析により，適切な設計因子を選定する．

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