高周波信号の重畳による静電浮上用ビルトインギャップセンサ

抄録

本論文では，静電浮上のためのビルトインセンサの開発，およびそれを用いた静電浮上について述べる．静電浮上は非接触搬送に有用であり，先行研究においてギャップセンサを用いた浮上が報告されている．一方，静電浮上力は電極の面積に比例するため，ギャップセンサを取り除くことが望ましい．本論文では高周波信号を重畳することによりビルトインセンサを製作し，それを用いた静電浮上について述べる．