斜対称圧電セラミック平板振動子の縦１次-屈曲2次結合振動を利用する超音波モータ

抄録

平板振動子を斜対称とすることにより、縦１次と屈曲２次モードはその辺比が0.25と0.6付近で結合する。本文では辺比が0.6の振動子を用いて超音波モータを試作した。辺比による両モードの結合の度合い、振動モードを検討し超音波モータへの適用を試みた。単相で周波数の切り替え（振動モードの切り替え）により、正逆回転のモータが実現できることを確かめた。