ボルト締めランジュバン型振動子を用いた極低温用超音波モータ

抄録

本研究では，極低温環境内での回転駆動を実現する超音波モータの試作・評価を行った．温度変化により生じる熱応力が，ボルト締めランジュバン型振動子の予圧に及ぼす影響についてシミュレーションを行い，振動子の設計を行った．また，温度特性により生じるロータ押し付け力の変化が回転に及ぼす影響を実験より評価した．さらに，試作したモータの評価実験を行い，4.5Kの気体ヘリウム中において連続的な回転を実現した．