弾性表面波霧化装置の低電力駆動

抄録

弾性表面波霧化では、基板上の振動を利用して、簡単に液体を霧化することが可能である。しかしながら、基板上に液体を配置すると液体が波によって運動するため、霧化を行うためには充分なエネルギが必要である。液体を基板に形成した溝間に毛細管現象を利用して液体を保持することによって、最低駆動電力を1/3程度に低減できたため、ここに報告する。