微小物体を対象とした非接触超音波支持機構の作用力測定

第2報 水平方向復元力計測

抄録

超音波振動子の振動面近傍で板状物体が浮揚する近距離場音波浮揚現象において鉛直下向きでの物体の非接触支持が可能であり、振動面中心へ物体を引き込む水平方向復元力が作用することが確認されている。本報では振動面と対象物の中心間距離と復元力の関係を観測した。中心方向への復元力、振動面の振動方向の吸引力を同時計測可能なサーボ型作用力測定機構を製作し、復元力特性の取得を行った。