ELID研削法を用いるカーボンX線全反射ミラーの作製

抄録

X線分析において，X線の集光などを目的とした光学素子として石英ガラスX線全反射ミラーが広く利用されている．しかし，ミラーとして石英ガラスを用いるよりも，カーボンを使用する方がX線反射率を増大できるので，ミラーの性能を従来よりも改善し，X線分析の感度を向上させることが可能と考えられる．本研究では，カーボンミラーを作製するためにELID研削法を用い，数nmの表面粗さ(rms)を達成したので報告する．