ナノスクラッチによる金型製作とその応用に関する研究

清水 淳; 大曽根 渡; 山本 武幸; 尾嶌 裕隆; 小貫 哲平; 周 立波

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.969.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: N01

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.969.0

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主催: 社団法人精密工学会

ナノスクラッチによる金型製作とその応用に関する研究

*清水淳, 大曽根渡, 山本武幸, 尾嶌裕隆, 小貫哲平, 周立波

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キーワード: ナノスクラッチ, 走査型プローブ顕微鏡, ダイヤモンドプローブ, シリコンウエハ, ナノインプリント, エッチング

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抄録

MEMS技術は，特殊設備や多段の工程を要し，極めて高生産コストであり，それに代わる技術が模索されている．ナノインプリントは，その一つの候補である．本研究は，ナノインプリント用金型のためのナノメートルレベルの基本構造をナノスクラッチにより得ることを目的としている．本報では，引っかきによるナノメータレベルの溝やレイヤ構造を創成した．得られた構造を用い，シリコン樹脂を対象に転写実験も試みた．

責任著者(Corresponding author)

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