インプリントを用いた自己整列微粒子の材料転写/形状転写 (第２報) 加圧条件が転写深さと転写面内における均質性に及ぼす影響

成田 行人; 諸貫 信行; 田中 靖紘; 金子 新

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.971.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: N02

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.971.0

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主催: 社団法人精密工学会

インプリントを用いた自己整列微粒子の材料転写/形状転写 (第２報)

加圧条件が転写深さと転写面内における均質性に及ぼす影響

*成田行人, 諸貫信行, 田中靖紘, 金子新

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キーワード: インプリント, 材料転写, 形状転写, 自己整列, 微粒子, UV硬化性樹脂

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抄録

微粒子の自己整列技術により作製した微粒子列の形状，もしくは微粒子材料をインプリントによってUV硬化性樹脂に転写することができる．本報告ではインプリント工程における加圧条件が転写深さと，転写面内における均質性に及ぼす影響を明らかにすることで，一般化指針のための知見を得た．加圧力を変化させることで樹脂が粒子間隙へ浸透する度合いが変化し，転写深さと転写結果の均質性に大きな影響を及ぼすことがわかった．

責任著者(Corresponding author)

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