マイクロニードルアレイを用いた高品位・高能率マイクロ穴加工技術の開発（第2報）

ニッケル製マイクロニードルアレイ工具の作製

抄録

本研究では，中空構造を有するマイクロニードルアレイ工具を用いた熱インプリント応用技術によって，様々な樹脂フィルムへ最小径10µm程度の貫通穴を高品位・高能率に加工する新規なマイクロ穴加工技術の確立を目的としている．本報では，位置選択的な無電解めっき技術を開発し，高強度・高靭性を有するニッケル製マイクロニードルアレイ工具の作製を行い，微細穴加工への適用性を検討した．