超硬合金を用いた単結晶ダイヤモンド工具の機上成形

抄録

超精密加工に用いられる単結晶ダイヤモンド工具を加工機上で成形することができれば、摩耗した工具の再研磨や段取り時間の削減が期待できる。一般的なスカイフ板とダイヤモンドペーストによる研磨は、加工機上での成形において工作機械摺動面に悪影響を及ぼすことが懸念される。そこで、本研究では、ダイヤモンドペーストを用いず研磨素材として超硬合金を利用し、刃先にチッピングのない単結晶ダイヤモンド工具の機上成形を実現する手法について検討した。