FIB-CVD形成DLCナノ振動子へのフッ素表面コーティングの効果

抄録

ナノ振動子は、様々な極微小物理量の高感度検出が期待されているメカニカル素子である。本研究では、高い検出感度を有するナノ振動子創製を目的として、集束イオンビーム化学気相成長法によりdiamond-like carbon (DLC)振動子を作製し、表面改質により振動特性改善を試みた。結果として、ディッピング法を利用したフッ素表面コーティングにより、DLC振動子のQ値が約1.5倍向上することを確認した。