FIB-CVDによる三次元微細構造作製の高精度化に関する研究

村尾 裕規; 石原 直; 割澤 伸一; 米谷 玲皇

doi:10.11522/pscjspe.2011S.0.987.0

2011年度精密工学会春季大会

セッションID: N14

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.987.0

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主催: 社団法人精密工学会

FIB-CVDによる三次元微細構造作製の高精度化に関する研究

*村尾裕規, 石原直, 割澤伸一, 米谷玲皇

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キーワード: 集束イオンビーム, 三次元微細加工, 形状補正

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抄録

三次元微細加工技術の一つであるFocused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition (FIB-CVD) 構造作製の精度には課題が残されている．本研究ではFIB-CVD三次元ナノ構造作製における形状補正技術の確立を目的とし，最も基本的な構造である四角柱の形成において，水平方向のFIB照射点数に対し照射時間を制御することによる鉛直方向の形状補正法を提案しその評価を行った．

責任著者(Corresponding author)

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