N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチング法によるシリコン表面の３次元形状の作製

抄録

シリコン基板表面にN-フルオロピリジニウム塩を液状で塗布し、光を照射することで、シリコンは選択的にエッチングされる。このエッチング法は光強度や光照射時間および基板温度に依存しており、これらの条件を制御することで任意の3次元形状を作製できると期待される。本研究では、基板温度を制御した上で光強度分布をもつ光を照射することにより球面形状を作製した。