精密工学会学術講演会講演論文集
2012年度精密工学会秋季大会
セッションID: B15
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強誘電体を用いた可逆的接合における電極材質の影響に関する研究
*飯塚 佑貴森田 剛
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キーワード: 強誘電体, 接合, 静電気力
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抄録
強誘電体は外部電界により反転する自発分極を持つ物質で、そのセラミックは 多数のドメインによって構成されている。強誘電体内のドメインが一様な方向を向くことで強誘電体表面に分極電荷が生じ、脱分極させること でこれを取り除くことができる。これを利用し、強誘電体であるチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)を用いて静電気力による可 逆的な接合を試みた。また、電極に導電性ゴムを用いることで接合力が大幅に向上することを確認した。
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© 2012 公益社団法人 精密工学会
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