マイクロ流体チップ金型の微細溝加工の研究

マイクロエンドミルにおける超音波キャビテーション援用加工

抄録

医療分野で注目されているマイクロ流体チップの金型製作には，金型製作期間の短縮や低コスト化の課題がある．そこで，本研究ではマイクロエンドミルによる切削加工で，マイクロ流体チップ金型を製造する方法を検討している．本報告では，切り屑排出性の向上を目的として，超音波キャビテーション援用加工を行い，その切削特性を実験的に検討した．さらに，各種潤滑方式との比較・検討を行った．