積層型圧電素子を用いたアクチュエータにおける強制冷却の効果

抄録

積層型圧電素子は、高速な動作が可能で大きな推力を有することから、高速で高精度な位置決め動作だけではなく、各種の加工機械の動作源として適した特性を有している。しかし素子を構成するセラミックスの誘電損失や電極自身の電気抵抗などは、駆動周波数に依存し、高い電圧で高い周波数まで動作させた場合、キューリー温度で定まる素子の許容温度は、内部発熱によって短時間で許容温度を超えてしまう問題があった。本報告では積層型圧電素子の発熱を効果的に強制冷却する手法を提案し、冷却構造と一体となった1軸型の並進機構アクチュエータについて報告する。