ペルチェモジュールによりフィードバック冷却する精密位置決め装置の精度向上

ボールねじの熱膨張低減

抄録

一軸の精密位置決め装置において、ボールねじの熱膨張量を計測し、ペルチェモジュールを用いたフィードバック冷却により熱膨張を補正した。テーブル速度100mm/sにおいて、熱膨張量をねじ軸端で測定した場合、非冷却時では8μｍ熱膨張しているボールねじを、ペルチェ冷却によりその熱膨張量を1μｍ以下にすることができた。その結果、ステージの位置決め誤差も向上した。