抄録
著者らは，超精密微動ステージのために潤滑油のみで層間を支持する多層構造静電アクチュエータを研究している．これまでにそのアクチュエータ用いた水平ステージの駆動特性を調べ，駆動信号により摩擦特性が大きく変化すること，それを利用することにより，低摩擦特性下で広い動作範囲と高応答性，高摩擦特性下で大きな保持力と精密動作の両立，という2種類の特性を付加機構なしで切換えることが可能であること，を明らかにしている．本報では，同様のアクチュエータを用いた垂直ステージを試作し，同様の機能を実現し，超精密位置決めへの有効性を検証した結果について報告している．
