プラズマを用いたフッ素ポリマー表面の高密着性銅メタライジングプロセスの開発

無電解銅めっき膜の剥離界面の調査

抄録

我々は大気圧プラズマプロセスと液相中の自己組織化プロセスを独自に融合させた大気圧プラズマ化学液相堆積法を用いることにより，次世代高周波材料として求められているフッ素ポリマー表面の銅メタライジングプロセスを開発している．本研究では，銅めっき膜の密着強度が無電解銅めっき膜/グラフト重合膜/フッ素ポリマーのどの界面において決定しているかを検討するために銅めっき膜剥離後の剥離界面の状態について調査した．