Siのマイクロ波水素プラズマエッチングにおける水素ガス流れと熱伝導のシミュレーション

抄録

SiH₄ガスの新規製造プロセスとしてSiのマイクロ波水素プラズマエッチングを提案している。本研究では、熱流体解析ソフト PHOENICS によりこの手法における水素ガス流れと熱伝導のシミュレーションを行った。エッチング領域でのガス速度、エッチング表面温度の見積もりが可能であることがわかり、実験結果との比較から条件最適化を行うことでSiH₄ガス生成のさらなる高速・高効率化が期待できる。