微小放電エネルギを用いたマイクロプローブホルダの製作

抄録

微細放電加工において，微小放電エネルギ条件で止まり穴加工を行うことで，工具電極底面に外形と同心の微細穴が形成される．この端面に微細穴を有する微細軸をホルダとして利用することで，同軸上に微小な球体を軸先端に容易に固定でき，マイクロプローブとしての活用が期待できる．そこで，本研究では微細軸と同心の微細穴の成形条件を実験的に調査したうえ，マイクロプローブを試作した．