大面積電子ビーム照射による微細バリ取りの基礎的研究

抄録

大面積電子ビーム照射法では，ビームを絞ることなく高エネルギー密度で工作物表面を瞬時に溶融・蒸発することができ，鉄鋼軽金型材料などの表面仕上げをきわめて短時間で行える．さらに凸部形状を有する工作物に大面積電子ビームを照射した場合凸部先端で著しい加工進展が発生し，丸みを得ることが明らかとなっている．本研究では，凸部での加工進展を生かした，電子ビームによる微細バリ取りの可能性について基礎的検討を行った．