樹脂コーティングワイヤを用いたマルチワイヤ切断における加工液の影響

抄録

太陽電池の基盤材料であるシリコンウエハの加工方法の一つに樹脂コーティングワイヤとダイヤモンドスラリーを用いた遊離砥粒方式のマルチワイヤソーがある．本報では，樹脂コーティングワイヤとダイヤモンドスラリーを用いたマルチワイヤソーにおいて単結晶シリコンインゴットをスライシングする際の高精度加工を目指し，ベースオイルの種類や粘度が加工特性に及ぼす影響について検討を行った結果を述べる．