硬Ｘ線集光用形状可変ミラーの開発 形状可変ミラー変形性能の評価

中森 紘基; 松山 智至; 今井 将太; 木村 隆志; 佐野 泰久; 香村 芳樹; 玉作 賢治; 矢橋 牧名; 石川 哲也; 山内 和人

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.401.0

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: F02

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012A.0.401.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

硬Ｘ線集光用形状可変ミラーの開発

形状可変ミラー変形性能の評価

*中森紘基, 松山智至, 今井将太, 木村隆志, 佐野泰久, 香村芳樹, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人

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キーワード: Ｘ線ミラー, 圧電素子

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抄録

我々は現在，SPring-8などの放射光源より得られるX線を集光するための，高精度形状可変ミラーの開発を行っている．形状可変ミラーはミラー基板に圧電素子を接着した構造であり，圧電素子に電圧を印加して変形させる．形状可変ミラーによりX線を集光するためには，ミラーの表面形状をナノメートル精度で制御し，目標となる非球面形状に変形させることが必要となる．本発表では，形状可変ミラーの変形性能について，変形精度・時間安定性などの評価を行ったので，詳しく報告する．

責任著者(Corresponding author)

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