Advanced Kirkpatrick-Baezミラー結像光学系を用いた高分解能硬X線顕微鏡の開発

松山 智至; 恵美 陽治; 佐野 泰久; 香村 芳樹; 石川 哲也; 山内 和人

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.399.0

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: F01

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012A.0.399.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

Advanced Kirkpatrick-Baezミラー結像光学系を用いた高分解能硬X線顕微鏡の開発

*松山智至, 恵美陽治, 佐野泰久, 香村芳樹, 石川哲也, 山内和人

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キーワード: X線顕微鏡, X線ミラー, X線結像光学系

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抄録

色収差のない結像型硬X線顕微鏡を開発するために，4枚の超高精度非球面ミラーを用いてAdvanced Kirkpatrick-Baezミラー結像光学系を開発した．これを基に構築した結像型硬X線顕微鏡に対して，SPring-8　BL29XULビームラインにて結像特性の評価を行った．10keVのX線を用いてテストチャートの明視野拡大像を取得したところ，200nmの分解能で可視化することに成功した．

責任著者(Corresponding author)

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