三面合わせ法を用いた平面基板の絶対形状校正

抄録

放射光X線ミラー用の表面形状計測装置として利用しているフィゾー型干渉計の参照面を絶対形状評価することを目的とし，三面合わせ法による校正を行った．温度環境を年間通じて±0.05℃に安定させた結果，参照面形状が相対湿度に応じて変形する現象を観察した．本効果を考慮した三面合わせ法を実施することで，145mm以上の長さに対して，PV1.5nmの確からしさで校正を行うことに成功した．