数値制御ローカルウエットエッチング法による高精度光学素子の作製（第9報）

共沸濃度のフッ化水素酸を用いた合成石英基板の高精度加工

抄録

数値制御ローカルウエットエッチングによる合成石英ガラスの加工において、エッチャントであるフッ化水素酸の加工中の濃度変動は形状精度悪化の原因となる。我々は濃度変動を最小に抑えるため、水とフッ化水素酸が同じ比率を保ち気化する共沸濃度と呼ばれる濃度に調整したフッ化水素酸を加工にもちいている。本稿では、共沸濃度のフッ化水素酸を用いて石英ガラスを加工した際の加工中の体積加工速度の安定性について議論する。