主催: 公益社団法人精密工学会
高輝度光科学研究セ 光源・光学系部門光学系グループ
大阪大 工学研究科精密科学・応用物理学専攻
東京大 工学系研究科精密機械工学専攻
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放射光X線ミラー用の表面形状計測装置として利用しているフィゾー型干渉計の参照面を絶対形状評価することを目的とし，三面合わせ法による校正を行った．温度環境を年間通じて±0.05℃に安定させた結果，参照面形状が相対湿度に応じて変形する現象を観察した．本効果を考慮した三面合わせ法を実施することで，145mm以上の長さに対して，PV1.5nmの確からしさで校正を行うことに成功した．
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