精密工学会学術講演会講演論文集
2012年度精密工学会秋季大会
セッションID: F61
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臨界角における光強度分布を用いた傾きの測定
*田代 発造江本 寛之三原 毅野村 俊神谷 和秀
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キーワード: 計測, 傾斜, 臨界角, 光分布
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抄録
ミラーの傾きを測定するために,プリズムの臨界角における透過と反射光量の変化を利用する方法がある.この方法でサブマイクロラジアンの感度で角度を測定できた.さらに光の分布を考慮すれば情報量が増加すると考えられ,精度の向上が期待できる.しかし,透過光はその形状が著しく変化するので解析には不向きである.そこで,プリズムに入射する前の光分布と反射光の分布から解析を試みる.その結果を示す.
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© 2012 公益社団法人 精密工学会
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