表面微細構造を用いた光放射圧プローブスタイラスの選択的捕捉（第一報）

微細構造による吸着力低減および光放射圧増強

抄録

我々は光放射圧により直径8µmの微小球を捕捉し，CMMプローブとして用いている．プローブとしては任意の単一粒子を選択して捕捉することが望ましいが，基板との間に吸着力（µNオーダ）が働くため，プローブ球を光放射圧（pNオーダ）のみで離床させることは困難である．本研究では，表面にナノスケールの凹凸をもつ基板に球を置くことでその選択的捕捉を行う．本報では，微細構造による吸着力低減および光放射圧増強について調べた．