３波長干渉を用いた透明膜の表面形状・裏面形状・膜厚分布の同時測定

モデル適合法による重畳正弦波信号の分離アルゴリズム

抄録

分光法に代表される従来の光学的膜厚測定法は、基本的に点計測であり、水平方向分解能も制限されている。我々は３波長干渉法による表面・裏面形状と膜厚分布の同時測定法を開発した。モデル適合法に基づく重畳正弦波信号の分離アルゴリズムを用いて、３波長干渉画像から得られる干渉信号を表面信号と裏面信号に分離し、形状と膜厚を推定する。計算機実験と実サンプル測定により、提案手法の妥当性を確認した。