振動下で撮影された光干渉像を用いる高精度３次元形状計測

安達 正明; 佐部田 龍佳; 丹羽 康人

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.623.0

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: I19

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012A.0.623.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

振動下で撮影された光干渉像を用いる高精度３次元形状計測

*安達正明, 佐部田龍佳, 丹羽康人

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キーワード: 光干渉, 形状計測, 振動, 位相抽出, 高精度計測

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抄録

振動環境下では振動による光路差変動が障害となって光干渉を応用した形状計測の高精度化は実現しにくかった．我々は光路差変化を実時間で測定する技術を導入し，位相変化量が特定値に達した瞬間に高輝度LEDをフラッシュ点灯するだけでなく，露光中の振動による光路差変化情報も取得した．そして露光中の光路差変化情報と取り込んだ光干渉像から高精度３次元形状計測を試みた結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

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