ピコメートル分解能非接触変位計　第2報

精密工学会学術講演会講演論文集

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: I20

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012A.0.625.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

ピコメートル分解能非接触変位計　第2報

*田宮英明

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キーワード: 非接触, 変位計, ピコメートル, センサ

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抄録

2012年本春季会報告で報告したｐｍ非接触変位計に関する続報とし，本センサの長時間の安定性，内挿誤差性能，リニアリティに関して，検討及び実測を行った結果を報告する．結果は，本センサは分解能に値する諸性能が確認され，高精度ミラーやウェハーなどの鏡面形状計測に有効である事が確認された．

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© 2012 公益社団法人精密工学会

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