金属-誘電体-金属構造における表面プラズモン共鳴を利用した可視域アクティブフィルタの開発

押鐘 寧; 東 孝哉; 山本 史彦; 村井 健介; 井上 晴行; 中野 元博

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.711.0

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: J69

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012A.0.711.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

金属-誘電体-金属構造における表面プラズモン共鳴を利用した可視域アクティブフィルタの開発

*押鐘寧, 東孝哉, 山本史彦, 村井健介, 井上晴行, 中野元博

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キーワード: 表面プラズモン共鳴, 金属-誘電体-金属構造, 偏光, 可視光通信, 発光ダイオード照明, 蒸着薄膜

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抄録

真空蒸着による薄膜を用いた金属-誘電体-金属(MIM)構造をガラス基板上に製作し，金属-誘電体界面の誘起される表面プラズモン共鳴を利用して，可視域でのシャープなバンドカット(ノッチ)フィルタの開発を目指している．前回の報告で問題となった分光反射特性の評価方法や成膜方法について，新装置の導入による全真空プロセスでのMIM構造の成膜などの改善点とそれらの効果について述べる．

責任著者(Corresponding author)

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