電子線トモグラフィーによる結晶格子欠陥の３次元観察（キーノートスピーチ）

抄録

透過電子顕微鏡（TEM）を用いた３次元微細構造観察法である電子線トモグラフィーは，当初，触媒等のナノ材料への適用が主であったが，最近ではバルク結晶内部の格子欠陥，例えば金属や半導体中の転位（線状欠陥）をナノスケールで３次元可視化することが可能となってきている．本講演では，こうした結晶格子欠陥の電子線トモグラフィー観察技術の最新動向と，材料研究への応用例を紹介しつつ，今後の展望を述べる．