一体成型したシリコン電極板を用いた薄型燃料電池

残留多孔質シリコン層の影響

抄録

MEMS技術を用いてシリコン基板に触媒層，拡散層，燃料流路を一体形成した薄型燃料電池の開発を進めている．多孔質シリコンを多孔質白金層に改質することで，触媒層を形成している．この際，改質が不十分な多孔質シリコンの存在が，触媒層への燃料供給を阻害するため，燃料電池性能を低下させる傾向が示唆されていた．本研究では，多孔質シリコン層の厚さを調整して，残留多孔質シリコン層の発電性能への影響を明らかにした．