第一原理計算を用いたペロブスカイト型酸化物砥粒におけるCMP特性の検討

抄録

第一原理計算を用いてガラス表面に対するペロブスカイト型酸化物であるSrFeO₃及びCaZrO₃の化学機械研磨特性を検討した。その結果、Sr及びCaといった希土類元素の影響によって金属原子は低価数となり、ガラス表面に電子を供与することでSi-O結合を弱めることが可能になることを解明した。