めっき皮膜の超精密微細加工性に関する検討

抄録

光学機器製造用の金型あるいはマイクロ溝／パターン加工などの微細形状加工において、表面のメッキ層で要求精度、微細形状を得る方法がある。メッキ材料としては、無酸素銅、無電解Ni-Pなどが現在用いられているが、本研究では新たなめっき皮膜材料について、単結晶ダイヤモンドによる超精密切削加工による微細形状創成の可能性を報告する。