ナノ配線ためのアンカーとDNAの製作

抄録

本研究では，生体材料であるDNAを用いた電子回路用ナノ配線構造の形成を提案する．そのプロセスの第一段階として，Si基板上の指定位置へDNAナノワイヤを固定するための足場構造（ナノアンカー）を製作した。ナノアンカーは原子間力顕微鏡（AFM）の陽極酸化によって直径50 nm程度のドットとして作製した．そこに末端がチオール化された2 μmのDNAを化学的に固定し，AFMにより観察した．